集成電路實(shí)驗教學(xué)體系建設(shè)探索

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為響應(yīng)國家科技強(qiáng)國戰(zhàn)略需求，突破核心關(guān)鍵技術(shù)，構(gòu)筑先發(fā)優(yōu)勢，在未來全球創(chuàng)新系統(tǒng)中占據(jù)戰(zhàn)略制高點(diǎn)，迫切需要培養(yǎng)大批新興工程科技人才[1]。而集成電路產(chǎn)業(yè)作為信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的核心，是支撐經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展和保障國家安全的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)[2-3]，在中國制造大投入、大發(fā)展、大跨越的趨勢下，集成電路的戰(zhàn)略重要性日益突顯。然而，我國的集成電路產(chǎn)業(yè)仍然未能實(shí)現(xiàn)真正意義上的突破，集成電路人才培養(yǎng)存在質(zhì)和量上的不足。高等院校作為高端人才培養(yǎng)的主場地，如何緊密圍繞我國集成電路產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展對高水平人才的迫切需求，遵循集成電路發(fā)展規(guī)律[4-6]，培養(yǎng)出具有理論和工程實(shí)踐相結(jié)合的綜合創(chuàng)新型人才，這對集成電路專業(yè)實(shí)踐教學(xué)體系提出了新的要求。在此大背景下，集成電路中心堅持“人才培養(yǎng)是根本、提升能力為關(guān)鍵、凝聚資源夯基礎(chǔ)、科學(xué)研究促發(fā)展”的實(shí)驗教學(xué)體系建設(shè)思路，提出以培養(yǎng)學(xué)生的工程實(shí)踐能力和科研創(chuàng)新能力為核心目標(biāo)的“四位一體”實(shí)驗教學(xué)體系，實(shí)踐教學(xué)覆蓋現(xiàn)代集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的主要技術(shù)與技能環(huán)節(jié)[7]，內(nèi)容層次遞進(jìn)，為微電子與集成電路相關(guān)專業(yè)的綜合創(chuàng)新型人才實(shí)踐教學(xué)培養(yǎng)提供新方案。

一、“四位一體”實(shí)驗體系構(gòu)建

在新工科的大背景下，實(shí)驗中心提出以“教學(xué)與科研、工程相融合”的培養(yǎng)理念，形成了以培養(yǎng)學(xué)生的動手實(shí)踐能力和創(chuàng)新能力為核心目標(biāo)的“四位一體”實(shí)驗教學(xué)體系，如圖1所示。該體系覆蓋現(xiàn)代集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的主要技術(shù)與技能環(huán)節(jié)，由“通識實(shí)驗”、“專業(yè)實(shí)驗”、“科研創(chuàng)新實(shí)驗”與“綜合交叉融合實(shí)驗”四大模塊構(gòu)成，兼顧物理、器件、電路、設(shè)計、工藝等集成電路學(xué)科核心內(nèi)容，適應(yīng)于培養(yǎng)集成電路人才運(yùn)用理論分析問題、解決問題等能力，具有覆蓋面廣、實(shí)用性強(qiáng)和創(chuàng)新性等鮮明特色[8-11]。該實(shí)驗教學(xué)體系在知識結(jié)構(gòu)上從通識課程一直延伸到專業(yè)課程，在實(shí)驗與實(shí)踐環(huán)節(jié)上從校內(nèi)實(shí)驗室延伸到校外實(shí)踐基地。實(shí)驗內(nèi)容層次遞進(jìn)，通過實(shí)驗教學(xué)最終實(shí)現(xiàn)工程實(shí)踐與系統(tǒng)實(shí)驗相融合、科學(xué)研究與實(shí)驗相融合、虛擬實(shí)驗與實(shí)踐實(shí)驗相融合以及理論課程與實(shí)驗相融合。（一）通識實(shí)驗?zāi)K。通識實(shí)驗主要面向本科一年級與二年級的學(xué)生開設(shè)。對于實(shí)踐性較強(qiáng)的微電子與集成電路專業(yè)而言，能夠熟練的掌握計算機(jī)程序語言以及扎實(shí)的物理與電子基礎(chǔ)理論知識，可以為后續(xù)的專業(yè)課程學(xué)習(xí)奠定基礎(chǔ)。因此，在通識實(shí)驗?zāi)K，將程序類實(shí)驗、物理類實(shí)驗、電子線路類、信號與系統(tǒng)類實(shí)驗作為核心內(nèi)容，四大類實(shí)驗之間的層次遞進(jìn)關(guān)系以及開設(shè)的學(xué)期如圖2所示。通識實(shí)驗課程設(shè)置堅持由易到難的原則，從計算機(jī)程序設(shè)計語言類實(shí)驗入門，進(jìn)而開設(shè)大學(xué)基礎(chǔ)物理實(shí)驗；在掌握一定的基礎(chǔ)知識后，為進(jìn)一步培養(yǎng)學(xué)生的知識綜合能力，在第三學(xué)期開設(shè)難度稍高的綜合物理實(shí)驗。隨著知識點(diǎn)的積累、理解能力以及動手能力的提升，逐漸開設(shè)與專業(yè)基礎(chǔ)相關(guān)的電子線路類、電路信號與系統(tǒng)類、半導(dǎo)體物理類實(shí)驗。實(shí)驗內(nèi)容由淺及深，層次遞進(jìn)，進(jìn)而達(dá)到培養(yǎng)學(xué)生的實(shí)驗?zāi)芰σ约皩?shí)驗興趣的目的。通識實(shí)驗?zāi)K的實(shí)驗教學(xué)活動，著重在于培養(yǎng)學(xué)生的實(shí)驗興趣，規(guī)范化的實(shí)驗操作習(xí)慣，熟練掌握常規(guī)儀器設(shè)備（示波器、電流源、信號源、函數(shù)發(fā)生器、頻譜分析儀等）的操作方法，以及處理實(shí)驗數(shù)據(jù)和撰寫實(shí)驗報告的能力。實(shí)驗的考核方式以及所占的比重為：實(shí)驗預(yù)習(xí)（40%）+實(shí)驗過程（40%）+報告為主（20%）。在課程設(shè)置時間上，實(shí)驗課程一般滯后于理論課程四個星期左右，目的是使得學(xué)生在充分理解理論知識點(diǎn)，即實(shí)驗原理的前提下，帶著思考問題進(jìn)入實(shí)驗室，有目的、有計劃地進(jìn)行實(shí)驗，充分實(shí)現(xiàn)理論課程與實(shí)驗教學(xué)相融合。（二）專業(yè)實(shí)驗?zāi)K。基于通識實(shí)驗?zāi)K，學(xué)生已經(jīng)具備了一定的實(shí)驗?zāi)芰η曳e累了一定的與專業(yè)相關(guān)的基礎(chǔ)知識，具備了專業(yè)實(shí)驗的能力。為了進(jìn)一步優(yōu)化實(shí)驗教學(xué)體系，新的實(shí)驗體系對專業(yè)實(shí)驗的內(nèi)容進(jìn)行合理優(yōu)化，保留傳統(tǒng)優(yōu)勢、經(jīng)典的實(shí)驗項目，摒棄與優(yōu)化落后的實(shí)驗項目，在此基礎(chǔ)上，根據(jù)科學(xué)研究的最前沿，加大科學(xué)創(chuàng)新實(shí)驗以及綜合性實(shí)驗在總實(shí)驗項目中的比重，使專業(yè)實(shí)驗體系結(jié)構(gòu)更為合理，并構(gòu)建了半導(dǎo)體器件實(shí)驗、工藝實(shí)驗、物理實(shí)驗、虛擬仿真實(shí)為主的六大實(shí)驗平臺，如圖3所示。每個實(shí)驗平臺下包含若干與專業(yè)主干理論課程緊密相關(guān)的專業(yè)實(shí)驗，這些專業(yè)實(shí)驗的內(nèi)容涵蓋面廣，由驗證型實(shí)驗→綜合設(shè)計型實(shí)驗→創(chuàng)新型實(shí)驗，實(shí)驗內(nèi)容層次遞進(jìn)，相互關(guān)聯(lián)，構(gòu)成專業(yè)實(shí)驗的核心內(nèi)容。1.集成電路實(shí)踐操作教學(xué)實(shí)驗。集成電路實(shí)驗教學(xué)示范中心主要承擔(dān)學(xué)生的實(shí)踐操作教學(xué)實(shí)驗，主要包含半導(dǎo)體器件物理實(shí)驗、半導(dǎo)體工藝檢測實(shí)驗以及半導(dǎo)體物理實(shí)驗三大平臺，包含30個實(shí)驗項目，涵蓋半導(dǎo)體材料、器件、電路的物理、電學(xué)特性測試與分析等方面的內(nèi)容。實(shí)驗內(nèi)容繼續(xù)秉承由淺及深的原則，由簡單的驗證性實(shí)驗逐漸過渡到創(chuàng)新型與綜合性試驗。目前為止，創(chuàng)新型與綜合設(shè)計型實(shí)驗已經(jīng)占據(jù)總實(shí)驗項目的62%。此外，學(xué)院成立了我國西部地區(qū)唯一具備集成電路生產(chǎn)實(shí)習(xí)條件且應(yīng)用于實(shí)驗教學(xué)的超凈工藝實(shí)驗室，學(xué)生親自動手實(shí)踐完成器件設(shè)計、工藝操作和樣品的測試一系列環(huán)節(jié)，加深對集成電路制造主要流程與技術(shù)的理解。專業(yè)實(shí)驗的考核方式兼顧實(shí)驗過程與實(shí)驗結(jié)果。對于創(chuàng)新型與綜合性實(shí)驗項目，側(cè)重于考核實(shí)驗過程，新增實(shí)驗小組答辯環(huán)節(jié)，考核范圍覆蓋實(shí)驗方案設(shè)計、實(shí)際動手操作能力、測試結(jié)果、實(shí)驗報告以及答辯表現(xiàn)等環(huán)節(jié)。專業(yè)實(shí)驗與集成電路學(xué)科覆蓋的物理、器件、電路、系統(tǒng)等專門知識一致，同時與集成電路材料、設(shè)計、制造、封裝、測試的產(chǎn)業(yè)需求相符，在培養(yǎng)學(xué)生扎實(shí)基礎(chǔ)的同時提高了學(xué)生的工程實(shí)踐能力以及綜合創(chuàng)新能力。2.集成電路設(shè)計與制造虛擬仿真教學(xué)實(shí)驗。虛擬實(shí)驗與實(shí)踐操作實(shí)驗相結(jié)合是未來實(shí)驗發(fā)展必然趨勢。優(yōu)化后的實(shí)驗平臺中增加了“工藝”、“器件”、“集成電路設(shè)計”虛擬仿真三大實(shí)驗平臺，各個模塊既有自身的側(cè)重，又相互聯(lián)系支撐，共同通過虛擬和仿真技術(shù)、多媒體、網(wǎng)絡(luò)通信等技術(shù)手段，強(qiáng)化理論教學(xué)的效果。虛擬仿真實(shí)驗平臺涵蓋集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的主要環(huán)節(jié)，兼顧工藝、器件、電路等多方面的培養(yǎng)要求，具有綜合性、實(shí)用性和創(chuàng)新型的鮮明特點(diǎn)。以《氮化鎵發(fā)光二極管工藝制造與光電特性虛擬仿真實(shí)驗》為例，該實(shí)驗取材于西安電子科技大學(xué)國家級科研成果，主要實(shí)驗內(nèi)容為器件虛擬工藝制造、光電特性仿真。AlGaN單量子阱GaNLED器件實(shí)驗項目中的氮化鎵發(fā)光二極管可以采用AlGaN、InGaN等作為單量子阱材料，學(xué)生可以根據(jù)需要的光波波長選擇相應(yīng)的量子阱材料，并可以根據(jù)需求改變器件的結(jié)構(gòu)和材料參數(shù)，進(jìn)而分析器件的光電特性。在虛擬環(huán)境中完成器件的設(shè)計，學(xué)生能夠更直觀地學(xué)習(xí)半導(dǎo)體集成器件的微觀結(jié)構(gòu)以及工作原理，并剖析影響器件性能的主要因素，引導(dǎo)學(xué)生逐步探索物理現(xiàn)象的本質(zhì)，巧妙地解決了由抽象到具體，理論到實(shí)踐的環(huán)節(jié)，彌補(bǔ)了工程實(shí)踐中的某些薄弱環(huán)節(jié)。此外，利用虛擬仿真平臺實(shí)現(xiàn)此實(shí)驗，可以克服真實(shí)實(shí)驗耗時長、成本高、環(huán)境要求苛刻、危險性大等弊端，使學(xué)生能夠增強(qiáng)對所學(xué)理論課程的理解和掌握[12]，增強(qiáng)學(xué)生的理解能力與邏輯思維能力，提升人才培養(yǎng)質(zhì)量。3.科研創(chuàng)新模塊實(shí)驗。通過專業(yè)實(shí)驗?zāi)K的訓(xùn)練，學(xué)生已經(jīng)具備了獨(dú)立實(shí)驗的能力以及基本的綜合創(chuàng)新能力。為了進(jìn)一步提高學(xué)生的科研創(chuàng)新思維，同時為學(xué)有余力以及科研思維活躍的學(xué)生提供更高展示能力的平臺，學(xué)院在本科實(shí)驗中增加科研創(chuàng)新實(shí)驗?zāi)K[13]。高校的實(shí)驗室擁有先進(jìn)的實(shí)驗設(shè)備，科研能力較強(qiáng)的師資隊伍，科研創(chuàng)新實(shí)驗?zāi)K充分利用實(shí)驗室優(yōu)勢資源以及教師的科研創(chuàng)新能力，實(shí)現(xiàn)科研反哺實(shí)驗教學(xué)。學(xué)院主要通過各類科研訓(xùn)練計劃、課程設(shè)計、畢業(yè)設(shè)計等環(huán)節(jié)，在教師的指導(dǎo)下，提高學(xué)生的科研創(chuàng)新實(shí)踐能力，實(shí)現(xiàn)科研創(chuàng)新與實(shí)驗教學(xué)相融合。以本科生的科研訓(xùn)練資助計劃（URTP）為例，URTP是在國家級和省級大學(xué)生創(chuàng)新訓(xùn)練計劃的基礎(chǔ)上，采用項目化的運(yùn)作方式，通過設(shè)立創(chuàng)新基金和本科生資助申報的方式確定立項并給予資金支持，形成了全方位的本科生科研訓(xùn)練資助計劃體系，鼓勵學(xué)生在導(dǎo)師的指導(dǎo)下獨(dú)立完成項目研究。該項科研訓(xùn)練項目鼓勵本科生、申請專利，全面提升本科生的科研創(chuàng)新能力。面向本科生的科研訓(xùn)練計劃核心是支持本科生開展科研訓(xùn)練，學(xué)生參與URTP的過程本質(zhì)上是在進(jìn)行研究性的學(xué)習(xí)，注重學(xué)生參與研究的學(xué)習(xí)過程，并鼓勵本科生產(chǎn)生一定的科研成果。該計劃為學(xué)有余力的學(xué)生提供直接參與科學(xué)研究的機(jī)會，引導(dǎo)學(xué)生進(jìn)入科學(xué)前沿，了解學(xué)科發(fā)展動態(tài)。學(xué)生通過發(fā)現(xiàn)問題，激發(fā)創(chuàng)新思維，積極主動地探索知識的新領(lǐng)域，從而體驗一種全新的研究性學(xué)習(xí)的樂趣。特別是參與科研訓(xùn)練計劃的學(xué)生可以無條件進(jìn)入開放實(shí)驗室，在導(dǎo)師的指導(dǎo)下自主完成項目，實(shí)現(xiàn)科學(xué)研究與實(shí)驗教學(xué)相結(jié)合。4.綜合交叉融合模塊實(shí)驗。學(xué)科之間的綜合交叉融合可以拓寬學(xué)生的思維及視野，激發(fā)學(xué)生的創(chuàng)新意識和動力，而且對當(dāng)今高水平大學(xué)的學(xué)科協(xié)同發(fā)展和創(chuàng)新人才培養(yǎng)機(jī)制的完善具有重要的意義[14-15]。實(shí)驗中心根據(jù)半導(dǎo)體與集成電路產(chǎn)業(yè)需求，優(yōu)化實(shí)踐教學(xué)體系，增加綜合交叉融合實(shí)驗?zāi)K，著重培養(yǎng)具有國際競爭力的多層次、復(fù)合型、創(chuàng)新型集成電路領(lǐng)域人才。綜合交叉融合實(shí)驗?zāi)K主要以兩種載體實(shí)現(xiàn)學(xué)科之間的融合。其一，以各類學(xué)科競賽為載體。積極組織學(xué)生參加大學(xué)生創(chuàng)新試驗計劃項目和各類學(xué)科競賽、豐富學(xué)生課外創(chuàng)新活動，培養(yǎng)學(xué)生創(chuàng)新實(shí)踐能力。以傳統(tǒng)競賽項目全國大學(xué)生電子設(shè)計競賽為例，它重在于考核學(xué)生的動手創(chuàng)新實(shí)踐能力以及綜合運(yùn)用知識的能力，競賽命題范圍廣，涉及到數(shù)模集成電路設(shè)計、單片機(jī)、電源、物聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、云計算以及人工智能等方面的知識點(diǎn)。這勢必要求帶隊教練根據(jù)自身專業(yè)所長對參賽學(xué)生進(jìn)行專門的單項實(shí)踐訓(xùn)練，學(xué)生在掌握基本原理的基礎(chǔ)上，根據(jù)具體題目將不同學(xué)科知識綜合交叉運(yùn)用解決實(shí)際問題。其二，以學(xué)生畢業(yè)設(shè)計或者科研訓(xùn)練項目為載體，開展學(xué)科之間的交叉融合項目。以本科學(xué)生畢業(yè)設(shè)計項目“硅基二極管可重構(gòu)偶極子天線關(guān)鍵技術(shù)研究”為例，此項目屬于半導(dǎo)體與微波通訊的交叉結(jié)合課題，研究此課題必須掌握半導(dǎo)體器件物理、固體物理、半導(dǎo)體工藝制造等方面的數(shù)理基礎(chǔ)知識，此外，必須熟悉微波通訊中等離子體與微波的相互關(guān)系以及天線的工作原理?；诎雽?dǎo)體硅基二極管構(gòu)成的偶極子天線具有傳統(tǒng)金屬天線無可比擬的優(yōu)點(diǎn)，即體積小，且天線在沒有激發(fā)的狀態(tài)下，雷達(dá)散射截面可以忽略不計，具有隱身的性能；不改變物理結(jié)構(gòu)的同時實(shí)現(xiàn)可重構(gòu)；輻射方向范圍寬等優(yōu)點(diǎn)。這種交叉融合的新型天線為雷達(dá)與通訊系統(tǒng)性能的提升提供了一條有效的技術(shù)路徑。優(yōu)化后的實(shí)驗體系中通過增加綜合交叉融合實(shí)驗?zāi)K的比重，實(shí)現(xiàn)工程實(shí)踐與實(shí)驗教學(xué)的相融合，不僅顯著提高學(xué)生的創(chuàng)新實(shí)踐動手能力以及綜合運(yùn)用知識解決實(shí)際工程問題的能力，而且產(chǎn)出了一系列具有影響的交叉創(chuàng)新成果，學(xué)科綜合優(yōu)勢進(jìn)一步提高，學(xué)科整體水平和創(chuàng)新活力顯著提升。

二、實(shí)驗教學(xué)體系成效

通過優(yōu)化實(shí)驗內(nèi)容，增加虛擬仿真實(shí)驗平臺以及增加科研創(chuàng)新實(shí)驗?zāi)K與綜合交叉融合實(shí)驗?zāi)K的比重，不斷深化實(shí)踐教學(xué)改革和完善實(shí)踐教學(xué)體系，從而切實(shí)提高了大學(xué)生的工程實(shí)踐動手能力。截至目前，國家級集成電路設(shè)計與制造虛擬仿真實(shí)驗教學(xué)中心擁有Silvaco、Synopsys、Cadence、Mentor等公司授權(quán)和自主研發(fā)的軟件多套，擁有23臺高性能計算服務(wù)器和300多臺PC機(jī)，可實(shí)現(xiàn)年150000人/時虛擬教學(xué)實(shí)驗任務(wù)。學(xué)院在3大模塊9個虛擬仿真實(shí)驗平臺基礎(chǔ)上，開設(shè)了52個虛擬仿真實(shí)驗項目，所有虛擬仿真實(shí)驗項目均對本科生開放，充分發(fā)揮學(xué)生學(xué)習(xí)的能動性。而且，學(xué)院已經(jīng)與國內(nèi)多家知名企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系，累計共派出200余人前往合作企業(yè)（院所），例如英飛凌、意法半導(dǎo)體、應(yīng)用材料、德州儀器等國際知名微電子企業(yè)進(jìn)行實(shí)習(xí)。企業(yè)為前來實(shí)習(xí)的學(xué)生提供與專業(yè)相關(guān)的實(shí)習(xí)崗位，并指派實(shí)習(xí)導(dǎo)師，與校內(nèi)導(dǎo)師共同協(xié)助指導(dǎo)學(xué)生的畢業(yè)設(shè)計項目。同時，企業(yè)還在校內(nèi)設(shè)立專項獎學(xué)金并贈送先進(jìn)的儀器設(shè)備與軟件，并提供培訓(xùn)課程，使得學(xué)生可以了解目前業(yè)界最先進(jìn)的數(shù)字集成電路設(shè)計理念、方法、工具以及實(shí)例，對專業(yè)知識有更直觀更深入的認(rèn)識。在學(xué)生科技創(chuàng)新與創(chuàng)業(yè)方面，優(yōu)化后的“四位一體”實(shí)驗教學(xué)體系實(shí)施后，學(xué)生的實(shí)踐創(chuàng)新與創(chuàng)業(yè)能力得到極大的提升。以國家、省部級各類學(xué)科競賽為平臺，對大學(xué)生進(jìn)行課外創(chuàng)新、實(shí)踐能力培養(yǎng)。學(xué)生科技成果豐碩、學(xué)科競賽喜獲佳績，圖4為新舊實(shí)驗體系（2013年與2017年）學(xué)生科技創(chuàng)新與創(chuàng)業(yè)成果比較分析。此外，在新的實(shí)驗體系實(shí)施后，學(xué)生獲獎的級別也在逐年上升。以2018年為例，獲得國家級別獎項有：獲得2018年美國數(shù)學(xué)建模競賽國際一等獎13人，國際二等獎10人；獲得2018年中國大學(xué)生計算機(jī)設(shè)計大賽全國二等獎5人，第四屆中國“互聯(lián)網(wǎng)+”大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽全國金獎2人，全國大學(xué)生嵌入式系統(tǒng)專題邀請賽國家一等獎1人，全國大學(xué)生瑞薩杯信息科技前沿專題邀請賽國家三等獎1人。創(chuàng)業(yè)方面，實(shí)驗中心成功培育孵化學(xué)生創(chuàng)業(yè)項目8項，目前實(shí)現(xiàn)PreA輪融資企業(yè)2項，天使投資項目2項，企業(yè)估值約2.5億元。數(shù)據(jù)表明，“四位一體”實(shí)驗體系實(shí)施后能夠給學(xué)生提供更多的工程實(shí)踐機(jī)會，學(xué)生的科技創(chuàng)新獲獎不僅種類與數(shù)量呈現(xiàn)逐年遞增的趨勢，而且獲獎質(zhì)量得到進(jìn)一步提升。

三、結(jié)束語

緊密圍繞微電子與集成電路專業(yè)的培養(yǎng)目標(biāo)，構(gòu)建了由通識實(shí)驗，專業(yè)實(shí)驗，科研創(chuàng)新實(shí)驗，綜合交叉融合實(shí)驗四大模塊構(gòu)成的“四位一體”高平臺實(shí)驗體系，實(shí)驗教學(xué)內(nèi)容覆蓋現(xiàn)代集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的主要技術(shù)與技能環(huán)節(jié)，通過增加虛擬仿真實(shí)驗平臺并加大科技創(chuàng)新實(shí)驗與綜合交叉融合實(shí)驗?zāi)K的比重，重點(diǎn)培養(yǎng)學(xué)生的科技創(chuàng)新能力以及運(yùn)用綜合知識融會貫通解決實(shí)際問題的能力。該實(shí)驗體系的實(shí)施，取得了明顯的成效，能夠?qū)ξ㈦娮优c集成電路相關(guān)專業(yè)的新工科建設(shè)和綜合創(chuàng)新型人才實(shí)踐教學(xué)的探索和改革提供借鑒作用。

作者:康海燕 婁永樂 馮曉麗 單位:西安電子科技大學(xué)